線切割的加工誤差可能來自機床精度（包括走絲系統）、材料的變形、計算的失誤及機床控制的錯誤。明確原因就有可能消除誤差。
① 計算失誤：是人為的原因，可以通過回零檢查，樣板切割、數據分析進行驗證。
② 機床控制錯誤：發生的可能性極少的，但如果因為外界電網電壓干擾，或切割復雜四軸聯動圖形再遇到頻繁短路回退時需要注意。有時步進電機進給速度太快，產生丟步也會產生圖形的異常。在使用編控一體化系統時，最好使用前多復位幾次。
③ 機床的精度：這通常是指機械精度，產生差值的最直接原因是拖板的直線度、垂直度誤差。這個差值的范圍應該在0.01～0.02mm以內，此數值是可以測量可以調整的，就現今機床結構來說，要使這個誤差值控制在0.02mm以下是比較容易的，而要到0.01mm以下又比較困難，同時還需要兼顧走絲系統的穩定性問題，必須要保障電極絲的空間位置精度。
④ 材料變形：按切割要求對程序進行檢查、回零檢查、每段切割完畢進行坐標檢查，那么剩下的誤差就可能是工件變形產生的了。
